Отрасли полупроводников и электроники играют ключевую роль в непрерывном развитии технологий и инноваций, которые преобразуют нашу повседневную жизнь. Смартфоны, ПК, игровые устройства и многое другое — примеры самых мощных и сложных из когда-либо разработанных технологий. В основе этих технологий лежит крошечная микросхема. Несмотря на миниатюрный размер, микросхемы являются одними из самых сложных устройств на сегодняшний день с высокочувствительным процессом производства.
Производство полупроводников — одна из самых быстро развивающихся отраслей, где для новой продукции постоянно требуется более высокая скорость и более сложные спецификации. В свою очередь, технология производства требует надежной и стабильной подачи вакуума. Для испытаний, хранения, транспортировки и упаковки полупроводников необходим чистый и постоянный вакуум на всем предприятии. Таким образом, выбор подходящего вакуумного насоса имеет решающее значение для производственного процесса.
Потребность в вакууме в сфере производства полупроводников
Общая вакуумная система предприятия используется для всех операций по захвату и перемещению в любом процессе производства «интегральной схемы», например, для манипуляций, резки, формовки, испытаний и пр. Поскольку микросхема включает в себя множество компонентов, крайне важно обеспечить сверхвысокую точность при изготовлении полупроводников, и присутствие вакуума на каждом этапе производства абсолютно необходимо.
Для обеспечения надлежащего уровня на каждом блоке оборудования и предотвращения загрязнения от обратного потока уровень разрежения находится в пределах 100 – 400 мбар абс. Для типичного полупроводникового производства обычно требуется расход от 2000 до 8000 м3/ч, но на более крупных может быть необходим расход свыше 12 000 м3/ч. Заводы работают круглосуточно, а выход из строя общей вакуумной системы недопустим. Следовательно, резервирование и надежность – обязательные требования.
Энергоэффективные вакуумные насосы компании «Атлас Копко» для полупроводниковой промышленности
Ротационный винтовой вакуумный насос GHS VSD⁺ «Атлас Копко» пользуется популярностью в полупроводниковой промышленности, поскольку VSD+ – это не просто «частотно-регулируемый привод». Насос GHS VSD+ оснащен запатентованным логическим контроллером и программным обеспечением, которые обеспечивают постоянный уровень вакуума на всем заводе. Наш интеллектуальный вакуумный насос – это экологичный инновационный хит, который значительно сокращает энергопотребление, снижая воздействие на окружающую среду и способствуя устойчивому развитию.
«Атлас Копко» также предлагает полный ассортимент безмасляных кулачковых вакуумных насосов DZS VSD+ и водокольцевых вакуумных насосов LRP VSD+. Их долговечная и проверенная конструкция хорошо подходит для небольших производств, точечной замены существующих насосов или в тех случаях, когда низкая стоимость приобретения важнее, чем общая стоимость жизненного цикла. За счет диапазона мощности и технологии VSD+, применяемой на всех вакуумных насосах «Атлас Копко», они идеально подходят для центральных вакуумных систем, включая общие вакуумные системы предприятий полупроводниковой промышленности.
Оцените преимущества инновационных систем удержания масла компании «Атлас Копко»
В общей вакуумной сети предприятия молекулы воздуха перемещаются в направлении вакуумного насоса, и при заданном уровне вакуума плотность потока в любом случае существенная. По этой причине молекулы масла и влага не могут попасть в технологический процесс. Вакуумные насосы часто расположены далеко от производственных помещений в специальном подсобном помещении. Поэтому можно свободно выбрать насос, не беспокоясь о загрязнении сети углеводородами. Однако следует задуматься о том, что будет на стороне нагнетания вакуумных насосов.
Вакуумные насосы «Атлас Копко», такие как ротационные винтовые вакуумные насосы с масляным уплотнением GHS VSD+, оснащены превосходными системами удержания масла. При необходимости можно установить дополнительные системы фильтрации на выходе насоса, чтобы предотвратить загрязнение атмосферы и сложных систем циркуляции/фильтрации воздуха вокруг производственной зоны.
Если вам нужен безмасляный вакуумный насос класса 0, компания «Атлас Копко» предлагает линейку безмасляных кулачковых вакуумных насосов DZS VSD+.
Обеспечение постоянного уровня вакуума
На полупроводниковых предприятиях всегда возникали проблемы с общей вакуумной системой из-за больших колебаний уровня вакуума. Производительность традиционных насосов падает из-за износа и условий среды, таких как колебания температуры.
Ротационные маслосмазываемые винтовые компрессоры GHS VSD+ компании «Атлас Копко» обеспечивают стабильную производительность независимо от условий окружающей среды. Любая необходимая для процесса скорость всегда доступна. Благодаря технологии VSD+ компании «Атлас Копко», насос GHS VSD+ автоматически ускоряется и замедляется в зависимости от изменения потребности в вакууме, поддерживая требуемую уставку с максимальной эффективностью.
Ознакомьтесь с нашим ассортиментом вакуумных насосов для производства полупроводников
Интеллектуальные водокольцевые вакуумные насосы
Следующий большой шаг в водокольцевой технологии – серия LRP 700-1000 VSD+, которая идеально подходит для применения в условиях повышенной влажности и загрязненности при высоких температурах, чрезмерных нагрузках паров, а также при переносе жидкостей и твердых частиц из технологического процесса.
DZS VSD⁺ – безмасляный кулачковый вакуумный насос (с регулируемой частотой вращения)
Вакуумные насосы «Атлас Копко» всегда обеспечивали более низкие эксплуатационные расходы, более высокую производительность, меньшее энергопотребление и простоту технического обслуживания. Теперь, благодаря интеллектуальному вакуумному насосу DZS VSD⁺, вы получаете все эти и многие другие преимущества: интеллектуальные функции, оптимизация, простота подключения, цифровые технологии и мобильное приложение.
